ICP-MS是近几十年发展非常快的无机超痕量分析仪器，它能一次完成从10^-12~10^-3的几十种元素的分析，并能同时检测同位素，是目前元素分析中灵敏度高、检测限低的方法之一。在同位素和元素形态分析方面也显示出其重要的作用，成为非常具有冲击力的分析技术之一：

1、可测定的元素面宽，可达80余个元素。

2、多元素同时测定，包括同位素分析，有机物中金属元素的形态分析。

3、灵敏度高，检出限低。可以测量ppb以及ppb以下浓度的微量元素。

4、选择性好，谱线干扰少。

5、动态线性范围宽：可优于9个数量级

6、在大气压下进样，便于与其他进样进行技术联用

7、可进行多元素同时快速分析，可使用同位素稀释法与多种分离技术及进样方法相结合，能适应于复杂体系的痕量或超痕量元素分析。

ICP MS与生俱来的特点，加之操作相对简便、效率高、样品适应性强、成熟稳定、测试标准和方法覆盖面广、成本低、等等，得到了第三方实验室的认可，已经成为其不可或缺的主力仪器。